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| ①沉淀 |
| ②过滤 |
| ③曝气 |
| ④离子交换 |
| ⑤消毒 |
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| 280℃-300℃ |
| CuCl |
| 1100℃ |
| 物质 | BCl3 | PCl3 | SiCl4 | AsCl3 | AlCl3 | SiHCl3 |
| 沸点 | 12.1 | 73.5 | 57.0 | 129.4 | 180(升华) | 31.2 |
| H2 |
| SiHCl3 |
| 配比 剩余量 温度 |
50 | 30 | 25 | 20 | 15 | 10 | 5 | 2 |
| 775℃ | 0.8286 | 0.8476 | 0.8519 | 0.8555 | 0.8579 | 0.8570 | 0.8456 | 0.8422 |
| 1100℃ | 0.2899 | 0.3860 | 0.4169 | 0.4512 | 0.4895 | 0.5312 | 0.5707 | 0.5710 |
| H2 |
| SiHCl3 |
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| 温度 | 250℃ | 300℃ | 350℃ |
| K | 2.041 | 0.270 | 0.012 |
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| 不纯物 | 除杂试剂 | 分离方法 |
| 苯(苯酚) | ||
| 乙醇(水) |
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