| | CH4 | SiH4 | NH3 | PH3 |
| ·Ðµã/K | 101.7 | 161.2 | 239.7 | 185.4 |
| ·Ö½âζÈ/K | 873 | 773 | 1073 | 713.2 |
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| SiCl4 | £70 | 57.6 |
| TiCl4 | £25 | 136.5 |
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| 1 | (1) | | | | | | | (2) |
| 2 | | | | (3) | (4) | (5) | (6) | |
| 3 | (7) | (8) | | | | (9) | (10) | |
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| A£®HF | B£®H2O2 | C£®CO2 | D£®NH3 |
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